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电子超纯水和实验室纯水用水标准



电子超纯水用水标准GB/T1146.1-1997
EW-I
电阻率MΩ.cm(25℃):18以上(95%时间)不低于17
硅≤μg/l:2
>1μM微粒数≤个/ml:0.1
细菌个数≤个/ml:0.01
铜≤μg/l:0.2
锌≤μg/l:0.2
镍≤μg/l:0.1
钠≤μg/l:0.5
钾≤μg/l:0.5
氯≤μg/l:1
硝酸根≤μg/l:1
磷酸根≤μg/l:1
硫酸根≤μg/l:1
总有机碳≤μg/l:20

EW-II
电阻率MΩ.cm(25℃):15(95%时间)不低于13
硅≤μg/l:10
>1μM微粒数≤个/ml:5
细菌个数≤个/ml:0.1
铜≤μg/l:1
锌≤μg/l:1
镍≤μg/l:1
钠≤μg/l:2
钾≤μg/l:2
氯≤μg/l:1
硝酸根≤μg/l:1
磷酸根≤μg/l:1
硫酸根≤μg/l:1
总有机碳≤μg/l:100

电子超纯水和实验室纯水用水标准


实验室纯水用水标准GB6682-92
一级用水
PH值范围(25℃):——
电导率(μs/cm.25℃):≤0.1
比电阻(MΩ.cm. 25℃):≥10
可氧化物质[以(0)计上],mg/L:——
吸光度(254nm,1cm光程):≤0.001
蒸发残渣(105±2℃),mg/L:——
可溶性硅[以(SIo2]计,mg/L:<0.01

二级用水
PH值范围(25℃):——
电导率(μs/cm.25℃):≤1
比电阻(MΩ.cm. 25℃):≥1
可氧化物质[以(0)计上],mg/L:<0.08
吸光度(254nm,1cm光程):≤0.01
蒸发残渣(105±2℃),mg/L:≤1.0
可溶性硅[以(SIo2]计,mg/L:<0.02

三级用水
PH值范围(25℃): 5.0-7.5
电导率(μs/cm.25℃):≤5
比电阻(MΩ.cm. 25℃):≥0.2
可氧化物质[以(0)计上],mg/L:<0.40
吸光度(254nm,1cm光程):——
蒸发残渣(105±2℃),mg/L:≤2.0
可溶性硅[以(SIo2]计,mg/L:—— 
电子超纯水和实验室纯水用水标准



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